12月26日,天馬新型顯示技術(shù)研究院(廈門)有限公司搬入首臺(tái)設(shè)備。
據(jù)邁為股份官微消息,此次搬入的設(shè)備為Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備,是由邁為股份自主研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造的。該設(shè)備采用激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù),利用特殊整形后的方形勻化光斑,結(jié)合高速度高精度振鏡掃描,可以實(shí)現(xiàn)高效率及高品質(zhì)的加工,將微米級(jí)Micro LED晶粒批量轉(zhuǎn)移到目標(biāo)基板上。
邁為股份表示,Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備是Micro LED制程中的核心裝備及高價(jià)值裝備之一,是影響Micro LED良率與制造成本的關(guān)鍵。在前期的產(chǎn)品驗(yàn)證階段,邁為股份和天馬新型顯示技術(shù)研究院基于各自的專業(yè)領(lǐng)域攜手合作,邁為從整線設(shè)備方案出發(fā)優(yōu)化設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與激光工藝技術(shù),天馬新型顯示技術(shù)研究院從芯片與膠材開發(fā)方面提升工藝窗口,最終成功實(shí)現(xiàn)大范圍三色拼接轉(zhuǎn)移驗(yàn)證,且轉(zhuǎn)移后無明顯塵粒(particle),落位精度及偏轉(zhuǎn)角度均達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。今年6月30日,雙方就此款設(shè)備達(dá)成采購(gòu)訂單。
除Micro LED巨量轉(zhuǎn)移之外,邁為股份還與天馬新型顯示技術(shù)研究院在激光剝離、激光鍵合設(shè)備及工藝領(lǐng)域協(xié)力開發(fā),致力于共同開創(chuàng)基于TFT(薄膜晶體管)技術(shù)的Micro LED技術(shù)新紀(jì)元。