近日，據(jù)韓媒報道，Sunic System宣布，正在準備一項技術，能夠在玻璃基板上制造基于現(xiàn)有硅基的微型有機發(fā)光二極管（OLED）沉積設備。

微型OLED通常作為增強現(xiàn)實（AR）、虛擬現(xiàn)實（VR）等設備的顯示解決方案，通常采用半導體材料硅晶圓來實現(xiàn)精密的驅(qū)動電路。如果能在玻璃基板上實現(xiàn)微型OLED，將有助于提高穩(wěn)定性并降低成本。

Sunic System常務金宗鎮(zhèn)在11月19日于COEX舉行的“2024材料·零部件·設備技術博覽會”上表示：“關于微型OLED是否必須在硅基板上嵌入CMOS（互補金屬氧化物半導體）來制造，我認為在玻璃基板上也可以實現(xiàn)，因此預計這一需求會有所增長?！?/p>

他還提到：“我們正在尋找與玻璃基板相關的VR技術，準備未來的技術，且正在研發(fā)在玻璃基板上實現(xiàn)微型OLED沉積的設備技術。”

與普通OLED面板不同，微型OLED可以在約1英寸的小尺寸中實現(xiàn)數(shù)千ppi（每英寸像素數(shù)）的顯示效果。由于需要精密的驅(qū)動電路，OLED材料通常不會沉積在玻璃基板上，而是在硅晶圓上進行沉積，因此也稱為“OLEDoS”（OLED on Silicon，硅基OLED）。

據(jù)了解，全球主要的面板廠商最近也開始研究如何在玻璃基板上實現(xiàn)微型OLED的技術。玻璃基板具有較高的耐熱性和耐用性，能夠在高溫高濕的環(huán)境中保持穩(wěn)定性能，且相比硅材料，功耗減少了20%至30%。Sunic System正為滿足這一需求，開發(fā)相關的沉積設備。

金宗鎮(zhèn)常務表示：“在OLEDoS中，RGB（紅、綠、藍）產(chǎn)品之后，實際上方向還沒有完全確定。未來我們可能會選擇技術向內(nèi)聯(lián)生產(chǎn)工藝發(fā)展，或者向2合1（2 in 1，指一個腔室內(nèi)有兩臺對準器的概念）方向發(fā)展，亦或干脆完全排除硅基板，采用玻璃基板進行VR相關的沉積技術?！?/p>

他還補充道：“面板公司和設備廠商正在全方位地考慮這些方向，如果設備公司能提前分享一些相關信息，可能會更加有利于設備的開發(fā)。”

Sunic System是OLED沉積設備的主力企業(yè)，沉積是通過加熱將有機材料附著在基板上，制作像素的過程，是OLED量產(chǎn)中的關鍵步驟。過去，OLED沉積設備市場主要由日本的設備廠商佳能Tokki主導。

自去年以來，面板廠商紛紛加大對8.6代IT用OLED的投資，佳能Tokki和Sunic System在這一領域展開了激烈的訂單競爭。三星顯示在去年4月宣布了4.1萬億韓元規(guī)模的8.6代OLED投資計劃，并選擇了佳能Tokki的沉積設備。Sunic System則成功進入了中國京東方（BOE）的供應鏈，目前正在為其交付相關設備。京東方去年11月宣布了630億人民幣的8.6代IT用OLED投資計劃。

金宗鎮(zhèn)常務表示：“目前我們主攻的方向是8.6代半導體（通過將原料切成半片的方式進行有機材料沉積）設備，最近已經(jīng)接到訂單并正在加緊生產(chǎn)。”

他補充道：“在6代半導體設備中，我們的BM（設備故障時的處理和修復率）維持在1%以下，運行非常穩(wěn)定?；谶@些經(jīng)驗，我們也在持續(xù)推進8.6代半導體設備的制造。”

他還表示：“未來OLED可能會朝8代、10代原始（不切割玻璃基板，直接在基板上沉積有機材料）設備方向發(fā)展，最終的目標是降低面板生產(chǎn)成本。首先需要大尺寸精密對準器（用于精確定位掩膜膜和基板，并通過光照構建電路），隨著設備的增大，我們還需要更多地研究真空腔體的變形問題。我們目前已經(jīng)在6代和8.6代半導體設備上積累了經(jīng)驗，并正在進行與國家課題相關的研究，預計明年可以完成?！?/p>